デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

真空ポンプターボ分子ポンプ

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト〜ミドルプロセス用に、FWシリーズは、高域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル〜ハードプロセス用にご利用ください。

用途

• ミドル〜ハードプロセス用メインポンプとして(FWシリーズ)
• ライト〜ミドルプロセス用メインポンプとして(FHシリーズ)
• 各種実験装置等の高〜超高真空排気用メインポンプとして

特長

• 監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。
• カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能。
• スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%〜100%の範囲で可変。
• 優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能。(FWシリーズ)
• 破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。
• CE対応