油拡散エゼクタポンプ ULKシリーズ
ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。
特長
- 臨界背圧を大きく設計しています。
- 〜10-2 Pa (10-4 torr)台で性能が、非常に安定しています。
- ルーズフランジ方式が採用されています。(ULK-04A、06Aの排気口フランジは除く)
- ポンプの洗浄が容易にできます。(部品の分解が容易にできます)
- 補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。
お役立ち情報
購入時の注意点
【使用オイルD-11とD-31の使い分けについて】
- 拡散ポンプオイルは、D-11または D-31の2種類があり、使用圧力に応じて異なります。
- 発注時にオイルの種類の指定をお願いいたします。主な使い分けは下記の通りとなります。 また「拡散ポンプの使用オイル別性能表」にて仕様をご確認いただけます。 (D-11オイル)オイル価格がD-31と比較して安価となります。また消費電力も1割程度少なくなり、ランニングコストが低く抑えられます。
(D-31オイル)オイル価格、消費電力ともにD-11と比較して割高となりますが、到達圧力が約一桁良くなります。
【オプション】
水冷バッフル:真空容器側清浄性の維持ため拡散ポンプ設置時はに少しでも油の逆拡散を防止する水冷バッフルの設置をご推奨いたします。
サーモスタット:発注時にサーモスタット有無を選定ください。(後からの取付は困難です)
- 設定温度:180℃
- 接点構成:設定温度で開く。(NORMAL CLOSE)
- 開閉容量:1000W AC115/220V
ULKシリーズにオプションで取付けてあるサーモスタットは、金属円筒の熱膨張を利用して接点を開閉させるものです。 使用する際には開閉容量以上の電力を投入しないで下さい。 サーモスタットの接点が開いたら、ヒーター電源を遮断する回路を構成する必要があります。