コントローラ一体型ターボ分子ポンプ
UTM-MIシリーズ
磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。
用途
■各種装置の真空主排気系・半導体製造装置
・蒸着装置
・スパッタリング装置
・分析装置
・実験装置など
・研究開発設備
■副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系
■油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え
■その他、高真空排気用途全般
特長
■ポンプ本体とコントローラが一体ポンプ本体とコントローラ間の面倒な配線引回し作業が不要です。
■自由な取付方向
取付方向に制限が無い為、装置設計の自由度が広がります。
■排気速度1000L/s～4000L/sクラスをラインナップ。
■ライトプロセス向けの広域大流量設計
■ポンプ回転数を25～100%の範囲で可変
回転数を可変させることができ、チャンバーの圧力調整ができます。
■高い耐久性と安全性
大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています
仕様
データダウンロード
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