2ω法ナノ薄膜熱伝導率計 TCN-2ω
簡単にナノ薄膜の熱伝導率評価が可能。
2ω測定においてナノ薄膜の厚さ方向の熱伝導率を測る世界で唯一の市販装置です。他の方式と比べて試料の製作や測定の方式が簡易的に行えます。
用途
- 熱設計に必要な薄膜の熱伝導率評価に最適（半導体デバイスの膜・有機系薄膜・Low-k膜）
- 熱電変換材料薄膜の評価も可能
特長
- ナノオーダーの薄膜の熱伝導率を評価
- 試料準備が簡単
特許や規格
熱物性測定方法（特許第5426115号）
仕様
| 装置型式 | TCN-2ω |
|---|---|
| 項目 | 熱伝導率 |
| 温度範囲 | 室温 |
| 測定雰囲気 | 真空中 |
| 試料寸法 | 10mm×長20mm、絶縁膜厚20～1000nm(要相談)、基板厚0.5～1mm(要相談) |
| 備考 | 受託分析の場合には装置と温度範囲が違う場合があります |
