スーパートラップ Speedシリーズ TS型
ヘリウム冷凍機を用いるスーパートラップは、水分の排気速度を大幅にアップさせて、装置の稼働率向上に寄与します。
使用する冷媒は、地球温暖化係数が低く、環境に優しい製品です。
用途
- 水分の多いバッチ式装置、光学用成膜装置等に最適。
- あらゆる真空装置に適用可能
特長
- 冷媒はヘリウムガスを使用します。フロンガスは不要です。
- 短時間で冷却、昇温が完了。（5〜15分以内、仕様によって異なります）
- 軽量、コンパクト、施工が簡単。（床置きユニットの設置スペースはフロン系トラップの3分の1程度）
