マルチチャンバ型スパッタリング装置
SME-200シリーズ

成膜関連装置スパッタリング装置スパッタ・ロードロック式

プロセス室を複数搭載可能（最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200）なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

用途

• 電子部品
• MEMS
• パワーデバイス
• LED

特長

• φ200mm基板を搬送可能
• プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ
誘電体用モジュール

高温成膜モジュール

精密分布モジュール

エッチングモジュール