デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K
MFU-20KはULVAC製DC電源に追加することにより、直流出力をバイポーラパルス出力に変換するユニットです。低コストでの歩留まり・スループットの向上を実現します。
用途
・FPD用反応性スパッタリング装置
・産業コーティング用反応性スパッタリング装置
・カラーＴＦＴ用反応性スパッタリング装置
・スパッタリング装置全般
特長
・広い周波数範囲
10kHz～100kHzの範囲で可能 ※1
・マスター/スレーブ接続により大容量化が可能
最大6台までの並列運転が可能
・DC出力も可能
入力DC電源の出力をそのままカソードに印加することが可能 ※2
仕様
| 型式 | MFU-20K | |
| 制御電源入力 | 入力電圧 | AC100V/AC240V |
| 変動範囲 | AC90～264V | |
| 相数、周波数 | 単相 50/60Hz | |
| 入力容量 | 400VA | |
| 入力仕様 | 動作電圧 | 0～-1000V※1 |
| イグニッション電圧 | -1200V | |
| 動作電流 | 50A | |
| 出力仕様 | 最大出力電圧 | 1000V（RMS）※1 |
| イグニッション電圧 | DC-1200V | |
| 最大出力電流 | 50A | |
| 発振周波数 | 10k～100kHz※2 | |
| デューティー | 10～90％※3 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |
| 外形寸法（W×D×H） | 483mm×630mm×177mm（突起物含まず） | |
| 質量 | 37kg | |
| 適合規格 | CE/SEMI F47/RoHS指令 | |
動作周囲温度 5℃～40℃（結露なき事）
動作環境 過電圧カテゴリーⅡ、汚染度Ⅱ、直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
※1:800Vを超える出力をする場合には、発振周波数の制限があります。
※2:60kHzを超える発振周波数では、出力電力・電圧・電流が制限されます。
※3:発振周波数によって、デューティーの制限があります。
