ドライ真空ポンプ
LSシリーズ
高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。
用途
■高速排気●大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能
■低消費電力
●ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現（C仕様）
●到達圧力時の消費電力は0.6kW以下(LS120A-C)
■低騒音
●専用サイレンサーを標準搭載
●到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下
■ランニングコスト低減
●従来必要だった軸シールガスが不要
※L仕様はパージガスを流す事が可能
■全4機種をラインアップ
●排気速度120～1200m3/hクラス ※メカニカルブースターポンプとの組合せ
●用途に応じて最適な排気容量の機種選択が可能
仕様
用途に合わせて選べる２タイプC 仕様：クリーンプロセス （LS***A-C）
特徴：ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
用途：エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々
L 仕様：ライトプロセス（LS***A-L）
特徴：表面処理,パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
用途：水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々
