手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ
VAHシリーズ
VAHシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行えます。
用途
- 各種真空装置の排気系ラインに
特長
- 空気の巻込みが少ない、Oリング軸シール方式
- 構造の簡易化により、メンテナンス性が良い
- アルミニウム合金の採用により軽量化を実現
- リンク機構の採用によりコンパクト化を実現
- 低振動
仕様
| 型式 | VAH |
| 呼び口径 A(B) | 100A(4B)〜150A(6B) |
| 本体材質 | アルミニウム合金(内部部品：軟鋼、ニッケルメッキ) |
| ガスケット材質 | フッ素ゴム |
| ベーキング許容温度 (ºC) | <60 |
| 使用圧力範囲 (Pa) | 105〜10-5 |
| リーク量 (Pa·m3/s) | <7.0×10-9 (*1) |
| 許容周囲温度 (ºC) | 5〜40 |
| 作動形式 | 手動 |
| 開閉信号出力 | 取付け不可 |
| 逆圧 | 標準で逆圧対応 |
| 注1： | 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は下記のようになります。 1Pa=7.5×10-3Torr |
| 注2： | バルブの開閉動作は、最大差圧：1000Pa以下で行って下さい。 |
| *1a： | 静止時の封止特性値です。リーク量にOリングの透過量は含みません。 |
| *1b： | 弁体の動作中は、シャフトに付着した空気を巻込むことがあり、見かけのリーク量が増加することがあります。 |
