イオン銃/電子分光器(CMA) FIG-5 パッケージ
本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最大電流密度を実現した画期的なイオン銃です。
さらにフローティング機構を搭載しているため低速イオンビームを高輝度で得られるようになりました。
特長
フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。
高イオン電流密度(>2 mA/cm2 5 kV)により高速スパッタエッチングが可能です。
イオンビーム径を150 μm以下( 5 kV)まで絞ることが可能です。
フローティングレンズ搭載により、超低エネルギー(10eV)から5keVまでのイオンビームの利用が可能になりました。
差動排気を行った場合、イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です。
フィラメントのアセンブリ化により、フィラメント交換が容易になりました。
外部制御により、加速電圧のON/OFFおよびラスター制御(X/Y独立 0-10 V)が可能です。
仕様
イオン銃 | ||
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加速電圧 kV | 0〜5 | |
最大ビーム電流 μ | 10以上(@5kV) | |
低速ビーム電流 nA | 12(@10eV) | |
最大ビーム電流密度 mA/cm2 | 2以上※1 | |
最小ビーム径 μm | 200以下※1 | |
ビーム偏向 mm | 機械的:± 5 静電的:± 3 | |
ラスター範囲 mm | 最大10×10 | |
ソースタイプ | 電子衝撃式 | |
フィラメント交換 | 450時間使用毎 | |
差動圧 | 10000:1※1 | |
動作距離 mm | 30〜70※3 |
コントロール | ||
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加速電圧 kV | 0〜5 | |
フロート電圧 V | 0〜500 | |
外部制御 | 加速電圧ON/OFF ラスタ制御※4 | |
寸法W×H×D※5 ㎜ | 482×176×375 | |
電力 | AC100/115V 1.5A | |
質量 kg | 18.2 |
※1:加速電圧を5kV、動作距離を30mmとし、ガス種にArを使用した場合
※2:差動排気口に50L/s以上のポンプを取り付けた場合
※3:イオン銃先端から試料までの距離
※4:X/Y独立0-10V電圧制御
※5:W=Width, H=Height, D=Depth