ドライポンプ省電力化アタッチメント
ECO-SHOCK ES4A

大型ドライ真空ポンプ真空ポンプ

ECO-SHOCKは、ドライポンプに取り付けることによって消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。
ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途やターボ分子ポンプのバックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電力削減に最適です。

特許登録済（日本、中国、台湾、韓国、シンガポール）

用途

• ドライポンプの省エネ対策
  - 仕込取出し室のような頻繁に繰り返し排気するドライポンプ
  - シールガス量の多いドライポンプ
  - 大気圧近傍の排気速度が大きなドライポンプ
  （例）当社製LR180,LR421,LR3600,LR3601,LR3601-Rおよび相当品

特長

• ドライポンプの省エネに貢献
  - ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能
  　（例）到達圧力運転時最大59%。チャンバー繰り返し排気時34%削減（LR3601-R当社比）*1 *2 *3
  - ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため空調機器の電力も削減

• 容積移送型ドライポンプで効果を発揮　*4
  　1000Pa以下の連続運転時間が長い用途で効果大

• 全圧力領域で排気速度の低下なし
  　本機を取り付けたドライポンプの回転数制御等は必要ないため、排気速度の低下がありません

• 取り付けが簡単
  　オプションのバルブユニットを取り付けることで設置が可能　*5 *6




*1　300Lチャンバーの繰り返し排気、60秒タクトでの測定例

*2　可燃性、支燃性、有毒ガス等の排気、および固形物や液体を吸引する用途には
　 　ご使用いただ けませんのでご注意ください。

*3　取り付け機種や使用条件により消費電力削減率は異なります。

*4　排気口（吐出口）を真空にしても問題なく運転できるドライポンプに適用が可能です。
　　排気口（ 吐出口）を真空にできないドライポンプには取り付けないでください。

*5　ドライポンプの機種や構造により、取り付け方法が異なります。
　　（LR3600,LR3601（-R）では一 部ポンプの改造が必要です）

*6　設置環境により一部改造などが必要な場合があります。
　　最寄りのアルバックテクノ(株)CSセンターにて現地取り付け工事を受け賜ります。