真空蒸着装置

アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に必須な蒸着技術を提供しています。

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  バッチ式高真空蒸着装置 Model：ei-5、EVD-600LP

  アルバックのバッチ式蒸着装置は、基板上への金属・酸化物成膜を高精度に行うために設計された蒸着装置です。 研究開発から少量生産まで幅広く対応できる汎用モデル"M……

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