あらゆる業界に多数の納入実績を誇るアルバックのスパッタリング装置です。
枚葉式スパッタリング装置 Model：uGmni-200S, uGmni-300S
スパッタ、エッチャー、アッシャー＆CVD複数プロセス室組合せ可の "Model：uGmni" は、全プロセス室ULVAC製です。スペア部品の低減や同一操作画面に……
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ロードロック式スパッタリング装置 Model：CS
研究開発から小規模生産まで対応のシングルチャンバー式スパッタリング装置です。従来のプロセスデータやノウハウをいかし、使いやすさを重視したデザインに一新しました。
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裏面・実装用スパッタリング装置 Model：SRH
スパッタリング装置 "Model：SRH" は、実装およびパワーデバイス用途に最適な量産用装置です。高精度な金属成膜により、信頼性の高い接続層形成を実現します。
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バッチ式スパッタリング装置 Model：SV
"Model：SV" は、基板を大量に処理できる縦型バッチ式ドラム型スパッタリング装置です。シンプルで扱いやすい汎用設計により、多様な材料・用途に対応し、幅広い……
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インターバック式スパッタリング装置 Model：SIV（縦型）・ SIH（横型）
スパッタリング装置”Model：SIV、SIH”は、多様な材料の成膜に対応するインターバック式縦型スパッタリング装置です。 さまざまな基板サイズに対応し、量産……
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インライン式スパッタリング装置 Model：SCV（縦型）・ SCH（横型）
スパッタリング装置”Model：SCV、SCH”は、多様な材料の成膜に対応するインライン式スパッタリング装置です。さまざまな基板サイズに対応し、量産ラインから試……
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マルチチャンバ型スパッタリング装置 Model：MLX-3000N
マルチチャンバ型スパッタリング装置 "Model：MLX MLX-3000N" は、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半……
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