あらゆる業界に多数の納入実績を誇るアルバックのスパッタリング装置です。
マルチチャンバ型成膜装置 Model：ENTRON-EXX
最先端半導体Logic、Memory（DRAM、NAND、次世代不揮発性Memory）、Packaging など多品種のデバイス生産に対応したマルチチャンバ対応……
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マルチチャンバ型成膜装置 Model：ENTRON-EX W300
Al、Cu、高融点金属メタル配線肯定に多くの実績を持つ枚葉式マルチチャンバ対応プラットフォームです。次世代プロセスに適応するSIS（Self -Ion Sput……
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研究開発用スパッタリング装置 Model：QAM
最小コストで最大のパフォーマンスを実現する研究開発向けスパッタリング装置です。 処理室1のみ、搬送系追加、さらに処理室追加と拡張性を持たせており高温仕様等のオ……
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マルチチャンバ型スパッタリング装置 Model：MLX-3000N
マルチチャンバ型スパッタリング装置 "Model：MLX MLX-3000N" は、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半……
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