エッチング装置

アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけるエッチングまで、あらゆるニーズに対応します。

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  バッチ式自然酸化膜除去装置 Model：RISE-300

  バッチ式自然酸化膜除去装置 "Model：RISE-300" は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置……

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