アッシング装置

電子デバイス、半導体デバイス製造工程に不可欠なレジスト除去技術を、環境配慮型（溶液不使用）、高生産性で提供します。

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  アッシング装置 Model：NA

  次世代ウェーハプロセスから実装工程まで幅広いプロセス向けの、ウェーハとパネル対応の2タイプを提供するアッシング装置です。 ウェーハ対応モデルは、次世代ウェーハ……

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