DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P
DCパルス電源は、反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。
この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。
用途
- FPD用反応性スパッタリング装置
- 産業コーティング用反応性スパッタリング装置
- カラーTFT用反応性スパッタリング装置
特長
- 高スループット
異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能 - 基板ダメージの低減
アーク起因の基板ダメージを低減可能 - 逆パルス周波数の変更可能
10kHz ～ 250kHzの範囲で可能 - マスター/スレーブ接続により大容量化が可能
最大6台までの並列運転可能（同一機種において可能） - DC出力も可能
PULSE 機能を停止し、超低アーク性能なDC 電源としても使用可能
仕様
| 型式 | DC-5-P | DC-10-P |
| 入力電圧 | AC208V | |
| 変動範囲 | AC187～229V | |
| 相数、周波数 | 3相 50/60Hz | |
| 入力容量 | 8kVA | 13.5kVA |
| 最大定格電力 | 5kW | 10kW |
| 定格電流 | 12.5A | 25A |
| 定格電圧 | 650V/800V※1 | |
| 発振周波数 | 10kHz ～ 250kHz | |
| 逆パルス幅 | 0.4μs ～ 5μs 0.1μs刻みで選択可能※2 | |
| 制御方式 | 定電力制御(P制御)/定電流制御(I制御)/定電圧制御(V制御) | |
| 制御精度 | 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方 | |
| 制御保証範囲 | 定電力制御 定格電力値の10 ～ 100% | |
| 並列運転 | マスター/スレーブにより最大6台まで制御可能（同一機種において可能） | |
| 外部制御 | アナログ/デジタル,RS-232C,RS-485 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |
| 外形寸法（W×D×H) | 483mm×630mm×133mm（突起物含まず） | |
| 質量 | 29kg | 36kg |
| 適合規格 | CE / SEMI F47 / RoHS指令 | |
動作周囲温度5℃～40℃（結露なき事）
動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
※1：155kHz以上の発振周波数選択時には定格電圧は650Vとなります。
※2：81KHz以上では、最大逆パルス幅は制限されます。
