クライオポンプ CRYO-Uシリーズ 特型クライオポンプ
スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサで複数のポンプを運転するマルチシステム。
ベーカブルタイプ
極高真空に最適
ベーカブルタイプのクライオポンプは、ポンプ壁を150℃〜200℃に加熱することにより容易に10-8Pa 以下の極高真空を得ることができます。 （CTI 製品を除く機種はベーカブルタイプの製作が可能です。）
スーパートラップ
水の排気専用
1段式冷凍機を用いた極低温トラップです。LN2が必要なく、手間、コストの面からもお得です。 用途に応じて設計製作が可能です。
L 型タイプ
装置のコンパクト化に貢献
冷凍機ユニットを横方向より取付けることより、高さ方向の寸法を極力小さくしたものです。（CTI 製品を除く機種はL型タイプの製作可能です。）
| 諸元 | CRYO-U8HL | CRYO-U12HL | |
|---|---|---|---|
| 排気速度 （20℃） |
窒素 | 1500L/s | 4000L/s |
| 水素 | 2200L/s | 6800L/s | |
| アルゴン | 1200L/s | 3300L/s | |
| 水 | 4000L/s | 9500L/s | |
| 到達圧力 | 10-7 Pa | 10-7 Pa | |
| 最大流量 | アルゴン | 1.2×103 Pa・L/s | 2.0×103 Pa・L/s |
| 水素 | 1.6×102 Pa・L/s | 4.1×102 Pa・L/s | |
| 排気容量 | アルゴン | 1.6×108 Pa・L | 3.1×108 Pa・L |
| 水素 | 1.2×106 Pa・L | 9.8×105 Pa・L | |
| 冷却降下時間（電力サイクル） | 50Hz | 100min | 90min |
| 60Hz | 90 min | 80min | |
| 吸気口フランジ | UVG200 | UVG300、10BANSI | |
| 質量 | 20 kg | 40 kg | |
