水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア
Depoview
Depoviewは、アルバック製水晶発振式成膜コントローラ(CRTM)の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集するソフトウェアです。 CRTMとパソコンをRS-232C通信ケーブルでつなぎ、ロギングデータのリアルタイム表示、保存、履歴管理ができます。
Depoviewは、CRTM-9100GとCRTM-6000Gに対応しております。
用途
- CRTMの膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集、リアルタイム表示、保存、管理
特長
- CRTMの膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを画面上にリアルタイム表示できます。
- プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のトレンドグラフを画面上に表示できます。
- ロギングデータは、CSV形式にてファイルに保存できます。
- CSV形式のロギングデータを読出し、グラフに表示する事ができます。
仕様
| リアルタイム表示 | 現在の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数、レイヤーNo、プログラムNoを画面上に表示します。CRTM-9100Gでは、SSモジュールカード4枚装着に対応しています。 |
| トレンドグラフ表示 | プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のトレンドグラフを画面上に表示します。 最大/最小/平均値、画面の拡大/移動表示が可能です。 |
| データロギング | プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数、レイヤーNo.とプログラムNo.を記録し、データをCSV形式ファイルに保存します。 ※CRTM-9100Gでは、レイヤーNo.とプログラムNo.は、取得できません。 |
| 履歴管理 | ロギングデータは、CSV形式にてファイルに保存します。 ロギングデータを読出し、グラフに表示する事ができます。 |
| 動作環境 | OS：WindowsXP/7日本語版 CPU：PentiumIII 1GHz 以上もしくはその互換プロセッサ メモリ：256MB以上 その他ハードウェア：COMポート、USBポート、CD-ROMドライブ、解像度XGA以上 |
| 付属品 | セットアップCD インストール手順書 ライセンスキー(USBポート使用) ※CRTMとつなぐ、RS-232C通信ケーブルは付属しておりません。 |
