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ポンプの種類と原理
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ポンプの種類と原理
各種ポンプの原理をご紹介しています。
ポンプの特長、長所/短所、ポンプ構造図、排気原理などが確認いただけます。
油回転真空ポンプ
メカニカルブースタポンプ
ドライポンプ
ダイアフラム真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
エジェクタ(真空)ポンプ
油拡散ポンプ
ソープションポンプ
チタンサプリメーションポンプ
スパッタイオンポンプ
クライオポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
コンポーネントガイド
セレクションガイド
真空ポンプ
大型ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ(大型)
油回転真空ポンプ(小型)
メカニカルブースターポンプ
ターボ分子ポンプ
スパッタイオンポンプ
オイルセレクションガイド
真空計
ヘリウムリークディテクタ
ガス分析計(プロセスガスモニタ)
真空バルブ
薄膜計測
水晶発振式成膜コントローラ
水晶発振式成膜コントローラ
水晶発振式成膜コントローラ用センサ
DC・RF・EB電源/EBガン
RF電源
EB電源/EBガン
製品の構造と特徴
高速分光エリプソメータ
トランスデューサ型マルチイオンゲージ G-TRAN シリーズ ST2
水晶発振式成膜コントローラ/センサ CRTMシリーズ・CTRSシリーズ
成膜コントローラ用水晶板 UCRシリーズ
ガス分析計(プロセスガスモニタ)Quleeシリーズ
リークディテクタ HELIOT900シリーズ
真空アングルバルブ(L型バルブ)
メカニカルブースターポンプ排気装置用 架台ユニット YMVシリーズ
お役立ち情報
ワンポインアドバイス
オイルミスト対策
ガスバラストバルブ
旧型式と現行機種相対表
ポンプ
真空計
バルブ
トラブルシューティング
油回転真空ポンプのトラブルシューティング
メカニカルブースタポンプのトラブルシューティング
油拡散ポンプのトラブルシューティング
ダイアフラムポンプのトラブルシューティング
ピラニ真空計のトラブルシューティング
電離真空計のトラブルシューティング
ペニング真空計のトラブルシューティング
真空教室
圧力単位換算表
ポンプの種類と原理
油回転真空ポンプ
メカニカルブースターポンプ
ドライポンプ
ダイアフラム真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
エジェクタ(真空)ポンプ
油拡散ポンプ
ソープションポンプ
チタンサブリメーションポンプ
スパッタイオンポンプ
クライオポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ
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水晶発振式成膜コントローラ/センサ CRTMシリーズ・CTRSシリーズ
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