真空アングルバルブ（L型バルブ）

アルバックの真空アングルバルブ（L型バルブ）は、 SUS製に統一、現行のJISフランジ仕様に加え、ISOフランジを充実し、開閉は複動・単動シリンダに手動まで、接続フランジタイプは4種類、サイズは16A（5/8inch）～900A（36inch）までと幅広いニーズにお応えできるラインアップです。

※面間寸法、シリンダ圧空供給口径共に一部の機種で旧機種との互換性がありません。

• INDEX
• 1. 駆動方式と使用圧力
• 2. 駆動方式：シリンダ構造
• 3. シール構造
• 4. 接続フランジ
• 5. 開閉センサ（オプション）
• 6. バルブ駆動用　推奨電磁弁

*1　真空レベルと構造の関係は、「シール構造の説明」を参照下さい。　
*2　駆動部は60℃以下、（　）内はバルブ“開”状態
*3　単動NC・・・ノーマルクローズ（圧空解放時に自動的にクローズ）

駆動方式は、 「複動シリンダ」「単動シリンダ」「手動」 ３タイプから選択でき、シリンダは全機種で許容逆差圧（0.10MPa）対応です。

シール構造は、「Oリング式」「ベローズ式」から選択できます。

構造図
真空レベル/ 使用圧力	V	≦10-5Pa	V	≦10-5Pa	V	≦10-5Pa	V	≦10-5Pa
	HV	≦10-6Pa	HV	≦10-6Pa	HV	≦10-6Pa	HV	≦10-6Pa
	UHV	≦10-8Pa	UHV	≦10-8Pa	UHV	≦10-8Pa	UHV	≦10-8Pa
	XHV	≦10-9Pa	XHV	≦10-9Pa	XHV	≦10-9Pa	XHV	≦10-9Pa
シリーズ	VLP-SA VLB-SA VLP-U		VLP-SB VLH-SB VLB-SB		VLP-MB VLH-MB		VUH

• VL□-SAは、軸シール（シャフト部）にOリング（FKM）シールを採用し、長寿命です。
• VLP-Uは、内部シール（シャフト部）にOリング（NBR）シールを採用し、異物混入にも強い構造です。
• VL□-SBは、軸シール（シャフト部）にベローズシール式を採用し、放出ガスを低減させています。
• VLP-MBは、外部シール（ボンネットフランジ部）にメタルシールを採用し、200℃のベーキング（バルブ開状態）が可能です。

接続フランジは、「JIS-VF」「ISO-KF」「ISO-K」「ISO-CF」 4タイプから選択できます。 フランジ口径サイズは、16A～350AまではSUS製（Oリングはフッ素ゴム：FKM）、 500A以上の大型はSS製（Oリングはニトリルゴム：NBR）で統一です。

*1　商品型式に入る数字は、◆「呼径：A(ISO)mm」、◇「呼径：A(JIS)mm」、●「呼径：B inch」です。 ◇「呼径：A(JIS)mm」は、JIS B2290 附属書（保守フランジ）の規格です。

• <*>旧VLP用電磁弁を新型バルブに使用する事は可能です。
• 但し旧VLP-U6用、VLP-U14用、及びVLP-U14R用の電磁弁を新型バルブに流用の場合、動作時間が若干遅くなる可能性があります。

※新ラインアップでは電磁弁の取り扱いはしていませんので、お客様にてご用意願います。