ターボ分子ポンプ セレクションガイド
数値は機種選定の目安です。詳細の値はカタログを確認下さい。
| 特長 | 排気速度 (L/s)/(N2) |
到達圧力 | 吸気口 | 冷却方式 | 排気性能タイプ | 軸受 | 型式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
動翼が全翼タイプのピボット軸受ターボ分子ポンプ
|
50 | 10-7 | VG65 ICF114 |
空冷 or 水冷 |
高圧縮 | ピボット軸受 +永久磁石軸受 |
UTM-50 |
| 190 | 10-8 | VG100 ICF152 |
空冷 or 水冷 |
高圧縮 | ピボット軸受 +永久磁石軸受 |
UTM-150 | |
| 300 | 10-8 | VG100 ICF152 |
空冷 or 水冷 |
高圧縮 | ピボット軸受 +永久磁石軸受 |
UTM-300 | |
| 550 | 10-8 | VG150 ICF203 |
空冷 or 水冷 |
高圧縮 | ピボット軸受 +永久磁石軸受 |
UTM-500 | |
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デジタル5軸制御磁気軸受 複合翼型ターボ分子ポンプ
|
350 330 |
10-8 | VG100 | 空冷 or 水冷 |
高圧縮・ 高背圧型 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-350FH |
| ICF152 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 480 | 10-8 | VG150 | 空冷 or 水冷 |
高圧縮・ 高背圧型 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-480FH | |
| ICF203 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 810 740 |
10-8 | VG150 | 空冷 or 水冷 |
高圧縮・ 高背圧型 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-800FH | |
| ICF203 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 1000 | 10-8 | VG200 | 空冷 or 水冷 |
高圧縮・ 高背圧型 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-1001FH | |
| ICF253 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 3300 | 10-8 | VG350 | 水冷のみ | 高圧縮・ 高背圧型 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-3303FH | |
| 6300 | 10-8 | VG500 | 水冷のみ | 高圧縮・ 高背圧型 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-6300FH | |
|
デジタル5軸制御磁気軸受 複合翼型ターボ分子ポンプ
|
350 330 |
10-7 | VG100 | 空冷 or 水冷 |
広域・ 大流量 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-350FW |
| ICF152 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 480 | 10-7 | VG150 | 空冷 or 水冷 |
広域・ 大流量 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-480FW | |
| ICF203 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 810 740 |
10-7 | VG150 | 空冷 or 水冷 |
広域・ 大流量 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-800FW | |
| ICF203 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 1000 | 10-7 | VG200 | 空冷 or 水冷 |
広域・ 大流量 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-1001FW | |
| ICF253 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 1490 1360 1300 |
10-8 | VG250 | 水冷のみ | 広域・ 大流量 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-1400FW | |
| VG200 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| ICF253 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 2730 2230 2110 |
10-7 | VG300 | 水冷のみ | 広域・ 大流量 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-2300FW | |
| VG250 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| ICF305 | デジタル5軸制御 磁気軸受 |
||||||
| 3300 | 10-7 | VG350 | 水冷のみ | 広域・ 大流量 |
デジタル5軸制御 磁気軸受 |
UTM-3301FW | |
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ターボ分子ポンプ排気ユニット
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50 | 10-7台 | VG65 ICF114 |
空冷 | 大気圧から高真空まで本製品１台で排気可能 | ピボット軸受 +永久磁石軸受+補助ポンプ |
YTP-50M/ SA(DRY) |
| 190 | 10-8台 | VG100 ICF152 |
空冷 | YTP-150M/ SA(DRY) |
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| 300 | 空冷 | YTP-300M/ SA(DRY) |
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| 550 | VG150 ICF203 |
空冷 | YTP-500M/SA |
