大型ドライ真空ポンプ セレクションガイド
アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
真空ポンプが作り得る圧力を表に示します。また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
ある程度は排気計算で算出すことができますので、詳しくは弊社までお問い合わせください。
1)ドライ真空ポンプ
数値は機種選定の目安です。詳細の値はカタログを確認下さい。
特長 | 最大排気速度(L/min) | 到達圧力 Pa |
冷却方式 | MBP搭載 | 表面処理*2) | 機種名 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
50Hz | 60Hz | ||||||
空冷式小型ドライポンプサイレンサー内蔵 |
280L/min | ≦3Pa | 空冷 | - | 有 | CR16B | |
500L/min | 空冷 | - | 有 | CR30B | |||
920L/min | 空冷 | - | 有 | CR60B | |||
5,000L/min | ≦0.5Pa | 空冷 | MBP 搭載 |
有 | CR300B | ||
一般産業向けに装備を軽減したモデル |
1,030L/min | 1,333L/min |
5Pa
|
水冷 | - | 有 | GR60A |
1,860L/min | 2,100L/min | 水冷 | - | 有 | GR90A | ||
3,100L/min | 3,950L/min | 水冷 | - | 有 | GR180A | ||
クリーンプロセス対応ECO-SHOCK内蔵省エネ型 |
2,000L/min |
≦0.6Pa | 水冷 | - | 無 | LS120A-C | |
6,300L/min | ≦0.1Pa | 水冷 | MBP 搭載 |
無 | LS300A-C | ||
10,000L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
無 | LS600A-C | |||
16,700L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
無 | LS1200A-C | |||
水蒸気排気等のライトプロセス対応 |
2,000L/min |
≦0.6Pa | 水冷 | - | 有 | LS120A-L | |
6,300L/min | ≦0.1Pa | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | LS300A-L | ||
10,000L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | LS600A-L | |||
16,700L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | LS1200A-L | |||
低温領域で均熱化 |
1,030L/min | 1,333L/min | 5Pa | 水冷 | - | 有 | LR60 |
1,860L/min | 2,100L/min | 水冷 | - | 有 | LR90 | ||
3,100L/min | 3,950L/min | 水冷 | - | 有 | LR180 | ||
7,333L/min | 水冷 | - | 有 | LR421 LR421-T |
|||
5,980L/min | 6,080L/min | 0.67Pa | 水冷 | MBP 搭載 |
MBP 有無を選択 |
LR300 | |
10,900L/min | 11,700L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
MBP 有無を選択 |
LR600 | ||
16,900L/min | 17,500L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
MBP 有無を選択 |
LR1200 | ||
28,350L/min | 29,700L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
MBP 有無を選択 |
LR1800 | ||
53,333L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
無 | LR3601 | |||
53,333L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
無 | LR3601-R | |||
45,000L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | LR3601-TT | |||
53,333L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | LR3601-TR | |||
高温領域で均熱化 |
1030L/min | 1333L/min | 5Pa | 水冷 | - | 有 | HR60 |
1860L/min | 2100L/min | 水冷 | - | 有 | HR90 | ||
5980L/min | 6080L/min | 0.67Pa | 水冷 | MBP 搭載 |
MBP 有無を選択 |
HR300 | |
10900L/min | 11700L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
MBP 有無を選択 |
HR600 | ||
16900L/min | 17500L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
MBP 有無を選択 |
HR1200 | ||
HR型をさらに高温にしたモデル |
6,833L/min | 5Pa | 水冷 | - | 有 | UR421-T | |
10,833L/min | 0.67Pa | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | UR600 | ||
16,867L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | UR1200 | |||
28,350L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | UR1800 | |||
45,000L/min | 水冷 | MBP 搭載 |
有 | UR3601-TT |
※1)GRは汎用モータを搭載しているため特殊環境モータの見積が可能です。 ※2)ドライポンプは全部表面処理が付いています。
2)ドライポンプサイレンサ
LRシリーズ 標準仕様用サイレンサ
ドライポンプ型式 | 適用サイレンサ | |
---|---|---|
LR60 | RS-01キットA | RS-02キットA※ |
LR90 | RS-01キットA | RS-02キットA※ |
LR180 | RS-02キットA | RS-02キットA※ |
LR300 | RS-01キットA | RS-02キットA※注1 |
LR600 | RS-01キットB | RS-02キットB※ |
LR1200 | RS-01キットB | RS-02キットB※ |
LR1800 | RS-02キットB | RS-02キットB※ |
LR421(-T) | RS-03キットA | |
LR3601(-R) | RS-03キットB |
※:サイレンサーキット(旧型品)を使用しており、取り合いを変えないで使用される場合。 注1:図面配置で電源配線が干渉します。旧型品でご使用でない場合はキットBかRS-01を使用下さい。
CR・GRシリーズ用サイレンサ
ドライポンプ型式 | 適用サイレンサ | ||
---|---|---|---|
CR16B | RS-01キットD | 開放型サイレンサ EFS-11-NW25/2/2516 注1 |
|
CR30B | RS-01キットD | 開放型サイレンサ EFS-11-NW25/2/2516 注1 |
|
CR60B | RS-01キットA | 開放型サイレンサ EFS-19-NW40/1 注2 |
|
CR300B | RS-01キットC | 開放型サイレンサ EFS-19-NW40/1 注2 |
|
GR60A (+PMB300D) |
RS-01キットA | ||
GR90A (+PMB600D) (+PMB1200D) |
RS-01キットA | ||
GR180A | RS-02単体 注3 | RS-02キットC | |
GR180A +PMB1200D |
RS-02キットC | 注4 |
注1:ダクトにNW25で接続可能ですが、本体部分がプラスチックなので接続部に力がかからないようにして下さい。内部のフィルタエレメントは目詰まりを確認し、適宜交換して下さい。
注2:ダクトへの接続はできません。ダクトに接続せずに室内へ開放しても安全なガスの場合のみ適用できます。ポンプ排気口との取付用のクランプとアウターリング各1個が付属されます。内部のフィルタエレメントは、フィルタエレメントの目詰まりを確認し適宜交換して下さい。。
注3:排気側の配管でサイレンサの重量を保持できる場合に限ります。単体には接続用クランプ・アウターリングは付属していません。
注4:RS-02単体は取付できません。
LR(CE仕様)シリーズ用サイレンサ
ドライポンプ型式 | 適用サイレンサ |
---|---|
LR60(CE仕様) | RS-01キットB |
LR90(CE仕様) | RS-01キットB |
LR180(CE仕様) | RS-02キットB |
LR300(CE仕様) | RS-01キットA |
LR600(CE仕様) | RS-01キットB |
LR1200(CE仕様) | RS-01キットB |
LR1800(CE仕様) | RS-02キットB |
CE仕様のドライポンプ用サイレンサーであり、サイレンサー自体はCE仕様ではありません。