真空計

真空計　セレクションガイド

圧力測定（真空計測）は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。広い分野に応じられる信頼性の高い真空計、真空計測器はULVACの自信作です。 基本的なピラニ真空計から超高真空計測等の多種多様な使用目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。 省スペース・低コストのトランスデューサ型真空計もご好評です。 真空計JCSS校正サービス アルバック製の真空計はもちろん、お客様が現在お持ちの真空計のJCSS校正を行います。

圧力単位（Pa）

ピラニ真空計：汎用型(GPシリーズ)

分類・特長	測定範囲	ディスプレイ	測定値出力	通信/ デジタル出力	電源電圧	型式
・安価 ・セットポイント無	0.4～ 2,700（Pa）	アナログ	DC0-10mV、 非線形出力	–	AC100～ 240V	GP-1G
持ち運び可						GP-1Gケース付
・ロングセラー ・セットポイント2						GP-1G GP-1GRY
・ＬＣＤ表示 ・セットポイント3		デジタル	DC0-10V リニア出力	RS232C/ BCD		GP-1000G
・7セグメントLED4.5桁表示 ・セットポイント3	0.4～ 3,000（Pa）			–		GP-2001G
					DC24V	GP-2002G

ピラニ真空計：トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長	測定範囲	測定値出力	通信/ デジタル出力	電源電圧	型式
・WP測定子仕様 ・セットポイント2	0.4～ 3,000 （Pa）	DC0-5V 非線形出力	–	DC24V	SP1
・大気圧仕様 ・セットポイント2	0.05～ 100,000 （Pa）	DC0-10V リニア出力			SW1-1
			RS232C/ RS485		SW1-2

※ディスプレイはオプションです。（表示器：ISG1）

電離真空計：汎用型(GIシリーズ)

分類・特長	測定範囲	測定値出力	通信/ デジタル出力	電源電圧	型式
・三極管ガラス球 ・デジタル表示 ・セットポイント2	1.3×10-5～ 6.7×10-1（Pa）	DC0-10V 仮数部リニア出力、 疑似LOG出力、 レンジホールドリニア出力	RS232C	AC100V	GI-D8/WIT
・B-A型メタル球 ・デジタル表示 ・セットポイント2	1.3×10-6 〜2.3×10-2(Pa)				GI-D7/WIB
・B-A型メタル球 ・デジタル表示 ・セットポイント2	5×10-8～ 9.9（Pa）				GI-M2
・10-11Pa測定可	5×10-11～ 1×10-2（Pa）	DC0-10V リニア出力	RS232C/ BCD	AC100～ 240V	AxTRAN

電離真空計：トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長	測定範囲	測定値出力	通信/ デジタル出力	電源電圧	型式
・冷陰極型 ・セットポイント2	5×10-5～ 1×100（Pa）	DC0-10V 非線形出力	–	DC24V	SC1
・B-A型メタル球 ・セットポイント3	5×10-8～ 9.9（Pa）	DC0-10V LOG出力			SH2-1
・WP測定子仕様 ・セットポイント3	5×10-8～ 1×104（Pa）				SH2-1+ SPU
・フルレンジ測定 ・セットポイント無	5×10-8～ 1×105 （Pa）				SH2-1+ SPU+SAU
・B-A型メタル球 ・セットポイント無	5×10-8～ 9.9（Pa）		RS232C/ RS485		SH2-2
・WP測定子仕様 ・セットポイント無	5×10-8～ 1×104（Pa）				SH2-2+ SPU
・フルレンジ測定 ・セットポイント無	5×10-8～ 1×105（Pa）				SH2-2+ SPU+SAU

※ディスプレイはオプションです。（表示器：ISG1）

キャパシタンスマノメータ（隔膜真空計）：トランスデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類	測定範囲	測定値出力	通信/ デジタル出力	電源電圧	型式
・絶対圧真空計 ・高精度 ・セットポイント無	13～1.3×105	DC0-10V リニア出力	–	DC24V	CCMT-1000D
	1.3～1.3×104				CCMT-100D
	1.3×10-1～1.3×103				CCMT-10D
	1.3×10-2～ 1.3×102				CCMT-1D

※ディスプレイはオプションです。（表示器：ISG1）