薄膜計測 セレクションガイド
アルバックの薄膜計測（プロファイラ、高速分光エリプソメータ）は、研究・開発・生産用途に適した高性能・自動ステージハイエンドモデルから、実験用途に適したポータブルタイプまで幅広いラインナップがあります。 使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
| プロファィラ（触針式） | 高速分光エリプソメータ （デスクトップタイプ） |
高速分光エリプソメータ （ビルドインタイプ） |
プロファィラ（触針式）
| 特長 | 測定長さ | ステージサイズ | XYステージ 移動範囲 |
サンプル厚 （最大） |
段差測定再現性 | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
安価・手動型 |
30mm | φ140mm | 80×20mm 手動 |
20mm | 1σ＝0.5nm （1μm標準試料） |
Alpha-Step D-500 | |
安価・手動型 |
55mm | φ 200mm | 50×178mm 電動プログラマブル |
30mm | 1σ＝0.5nm （1μm標準試料） |
Alpha-Step D-600 | |
多機能・高精度 |
150mm | φ150mm | φ150㎜ 電動プログラマブル |
55mm | 1σ＝0.4nm （1μm標準試料） |
P-7 | |
多機能・高精度 |
200mm | φ200mm | φ200mm 電動プログラマブル |
55mm | 1σ＝0.4nm （1μm標準試料） |
P-17 | |
安価・手動型 |
200mm | 240×240mm Maxステージサイズ :φ300mm ※オプション |
φ200mm 電動プログラマブル |
55mm | 1σ＝0.4nm （1μm標準試料） |
P-17OF | |
高速分光エリプソメータ（デスクトップタイプ）
| 特長 | ステージタイプ | 機能 | 波長範囲 | スポット径 | Zフォーカス | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
ポータブル |
固定タイプ | － | 530～750 (nm) |
1(mm) | 手動 | UNECS-Portable | |
| － | 0.3(mm) | 手動 | UNECS-Portable-030 | ||||
| － | 380～760 (nm) |
1(mm) | 手動 | UNECS-PortableW | |||
| － | 0.3(mm) | 手動 | UNECS-PortableW-030 | ||||
手動ステージ |
手動φ150(mm) | － | 530～750 (nm) |
1(mm) | 手動 | UNECS-1500M | |
| － | 0.3(mm) | 手動 | UNECS-1500M-030 | ||||
| － | 380～760 (nm) |
1(mm) | 手動 | UNECS-1500MW | |||
| － | 0.3(mm) | 手動 | UNECS-1500MW-030 | ||||
自動ステージ |
自動φ150(mm) | 【オプション】 1. 高精度マップ ※2000ポイント 2. 3D表示 3. 観察カメラ |
530～750 (nm) |
1(mm) | 自動 | UNECS-1500A | |
| 0.3(mm) | 自動 | UNECS-1500A-030 | |||||
| 380～760 (nm) |
1(mm) | 自動 | UNECS-1500AW | ||||
| 0.3(mm) | 自動 | UNECS-1500AW-030 | |||||
| 自動φ200(mm) | 530～750 (nm) |
1(mm) | 自動 | UNECS-2000A | |||
| 0.3(mm) | 自動 | UNECS-2000A-030 | |||||
| 380～760 (nm) |
1(mm) | 自動 | UNECS-2000AW | ||||
| 0.3(mm) | 自動 | UNECS-2000AW-030 | |||||
| 自動φ300(mm) | 高精度マップ標準装備 ※2000ポイント 【オプション】 1. 3D表示 2. 観察カメラ |
530～750 (nm) |
1(mm) | 自動 | UNECS-3000A | ||
| 0.3(mm) | 自動 | UNECS-3000A-030 | |||||
| 380～760 (nm) |
1(mm) | 自動 | UNECS-3000AW | ||||
| 0.3(mm) | 自動 | UNECS-3000AW-030 | |||||
高速分光エリプソメータ（ビルトインタイプ）
| タイプ | 用途 | 波長範囲 | スポット径 | 型式 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
ビルトイン |
大気 | 530～750(nm) ※標準タイプ |
1(mm) | UNECS-1M | ||
| 0.3(mm) | UNECS-1M-030 | |||||
| 380～760(nm) ※可視光タイプ |
1(mm) | UNECS-1MW | ||||
| 0.3(mm) | UNECS-1MW-030 | |||||
| 真空 | 530～750(nm) ※標準タイプ |
1(mm) | UNECS-1MV | |||
| 380～760(nm) ※可視光タイプ |
1(mm) | UNECS-1MVW | ||||
