ガス分析計（プロセスガスモニタ） セレクションガイド
アルバックのプロセスモニタは、宇宙、原子力などの最先端研究・開発用途に適した高性能・高分解能ハイエンドモデルから、 一般用途に適したベーシックタイプまで幅広いラインナップがあります。
CCGシリーズはスパッタ専用機で2Paから分析可能なプロセスガスモニタとなります。
またアルバックの技術で培った解析ソフトも付属されています。
多種多様な分析目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。
Quleeシリーズ
| 用途 | 質量数範囲 | 感度（A/Pa） | 検出器 | 型式 | 名称 |
|---|---|---|---|---|---|
| スパッタ装置専用機 プロセス分析も可能  |
1～50 amu |
10-7 | ファラデーカップ | CGM-051 | コンパクト プロセスガスモニタQulee CGM |
| 10-4 | 二次電子増倍管 ファラデーカップ |
CGM-052 | |||
| 各種真空装置 汎用仕様  |
1～100 amu |
10-7 | ファラデーカップ | BGM-101R | ベーシック プロセスガスモニタQulee BGM |
| 4 | 二次電子増倍管 ファラデーカップ |
BGM-102R | |||
| 1～200 amu |
10-7 | ファラデーカップ | BGM-201R | ||
| 4 | 二次電子増倍管 ファラデーカップ |
BGM-202R | |||
| R＆D、研究開発用途、 世界最高感度  |
1～200 amu |
4 | 二次電子増倍管 ファラデーカップ |
HGM-202R | ハイパフォーマンス プロセスガスモニタQulee HGM |
| 1～300 amu |
4 | HGM-302R | |||
| CVD、エッチング装置、 反応性ガス対応  |
1～200 amu |
10-3 | 二次電子増倍管 ファラデーカップ |
RGM-202R | リアクティブ プロセスガスモニタQulee RGM |
| 1～300 amu |
10-3 | RGM-302R |
※標準ソフト：Qulee QCS（Windows XP/7）
