EB電源/EBガン

EB電源/EBガン　セレクションガイド

・EBガンの種類　　　・EB電源の種類　

ULVAC の蒸発源 (EB ガン ) は、すべて磁場偏向を使用しています。また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。

小容量で実験等に向いている EGK シリーズと、中〜大容量で生産用に向いている EGN・EGLシリーズ、光学用のEGO・EGPシリーズがラインアップされています。 電子ビーム蒸発用電源 (EB 電源 ) の HPS シリーズは、5kW、10kW、16kW があり、強制空冷でありながら従来のものに比較して、小型軽量化されています。また、異常放電時の成膜レートの低下を最小限にする機構を採用しています。 EB ガンを選択する場合には、電源と併せて、電源ケーブル長等の追加仕様や、導入端子等のアクセサリの選択をする必要があります。

EBガンの種類

※EGNシリーズでの酸化物使用はピームサイズ等条件付きです。

EB電源の種類

※すべて強制空冷式です。