水晶発振式成膜コントローラ用センサ セレクションガイド
水晶発振式成膜コントローラ用センサCRTSシリーズはベーキングの有無や測定環境の温度により使い分けます。お客様のアプリケーションに最適なCRTSセンサをお選びください。
もちろん、CRTMシリーズにはどのタイプのセンサでも接続可能です。
ご注文の際はセンサ型式、センサ長さ（100㎜〜800㎜）、および導入端子型式（別売）をご指定ください。
| 用途・特長 | ベーキング 温度 （最高） |
搭載 クリスタル |
センサー ヘッド寸法 |
水冷パイプ | 型式 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| パイプ長 | 外径 | 水冷水量 | |||||
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蒸着センサ
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150℃ | 1枚 5MHz (6MHz) |
φ31xH19mm | 100～800mm | 4mm | 200cc/min | |
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蒸着センサ
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1枚 5MHz (6MHz) |
φ34xH19mm | 6mm | 400cc/min | |||
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水冷パイプ無し蒸着センサ
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1枚 5MHz (6MHz) |
φ28xH19mm | － | － | |||
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水冷パイプ無し蒸着センサ
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1枚 5MHz (6MHz) |
φ45xH30mm | 100～800mm ※ジャケット部配管 |
6mm ※ジャケット部配管 |
400cc/min ※ジャケット部配管 |
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ベーカブル蒸着センサ
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300℃ | 1枚 5MHz (6MHz) |
φ31xH20mm | 100～800mm | 4mm | 200cc/min | |
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ベーカブル蒸着センサ
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1枚 5MHz (6MHz) |
φ34xH20mm | 6mm | 400cc/min | |||
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マルチセンサー12連
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ベーキング 不可 |
12枚 5MHz |
φ104xH61mm | － | 1/4インチ | 1L/min | CRTS-12NS |
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マルチセンサー6連
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6枚 5MHz (6MHz) |
φ50xH89mm | － | CRTS-M6 | |||
