ピラニ真空計のトラブルシューティング

使用上の注意点

1. ピラニ真空計は、気体の熱伝導を利用した真空計なので、気体の種類により圧力の表示に差がでます。
   真空計は窒素もしくは空気で校正しています。真空槽内がそれ以外の気体、混合ガスの場合は換算が 必要になります。
2. アルバックのピラニ真空計は、フィラメントを一定温度に保つための電力変化量を利用しているので、 圧力が同じでも周囲の温度によって指示値が影響を受けます。
3. 測定子ケーブルも回路の一部分となっているので、ケーブルの長さを変えてしまうと、回路の抵抗値 も変わり、指示値も変化してしまいます。 （ただし、センサ側に検出ユニット回路がついているものは、この限りではありません）
4. フィラメントは細い金属線なので、振動、ショックを与えると断線する危険があります。

トラブルチェックリスト

1. 電源を入れてもメータの指針が全く振れない
2. 指針が右（または左）に振り切れたままで圧力を変化させても動かない
3. 大気圧を測定していても指針が３k Paを超えない
4. 指針が振動して一定の値を示さない

1. 電源を入れてもメータの指針が全く振れない

2. 指針が右（または左）に振り切れたままで圧力を変化させても動かない

3. 大気圧を測定していても指針が３k Paを超えない

4. 指針が振動して一定の値を示さない