大排気量でコンパクトサイズのスクロールタイプのポンプです。ドライ型真空ポンプの中では最高レベルの到達圧力を実現します。
固定された渦巻き型の壁(固定スクロール)に対面した渦巻き型の壁(従動スクロール)が偏芯運動することによって真空排気をする真空ポンプです...
【90/108 L/min (50/60 Hz) 5.0Pa】ダブルラップタイプ / １段排気方式 / サー...
【250/300 L/min (50/60 Hz) 1.6Pa】ダブルラップタイプ / １段排気方式 / サ...
【500/600 L/min (50/60 Hz) 1.0Pa】ダブルラップタイプ / １段排気方式 / サ...
