到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプです。ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能です。
【20/23 L/min 200Pa】高真空タイプ / 3段排気方式 / サーマルプロテクター内蔵 / プラ...
【100/110 L/min 266Pa】高真空タイプ / 3段排気方式 / サーマルプロテクター内蔵 / ...
【60/70/L/min 100Pa】高真空タイプ / 3段排気方式 / サーマルプロテクター内蔵 / プラ...