接ガス部面に表面処理を施した油回転真空ポンプのケミカルタイプです。
【50/60 L/min (50/60 Hz) 0.67Pa】ケミカルタイプ/２段排気方式/逆流防止機構付き...
【135/162 L/min (50/60 Hz) 0.67Pa】ケミカルタイプ/２段排気方式/逆流防止機構...
【200/240 L/min (50/60 Hz) 0.67Pa】ケミカルタイプ/２段排気方式/逆流防止機構...
