クライオU シリーズの再生時間を大幅に短縮する「急速常温再生システム」を搭載したクライオポンプです。
従来比で、約２分の１に...

ヘリウム冷凍機を用いるスーパートラップは、水分の排気速度を大幅にアップさせて、装置の稼働率向上に寄与します。
使用する冷媒は...

クライオポンプに使用しているGM 冷凍機は、超伝導などを利用した分野にもその用途を広げています。
4K 冷凍機やパルスチュー...

クライオポンプに使用しているGM 冷凍機は、超伝導などを利用した分野にもその用途を広げています。
4K 冷凍機やパルスチュー...

クライオポンプに使用しているGM 冷凍機は、超伝導などを利用した分野にもその用途を広げています。
4K 冷凍機やパルスチュー...

ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く活用されて...

ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。数多くの高真空生産設備に使用されて、...

ULVACのPBL型油拡散エゼクタポンプは、中真空領域で排気速度を上げることのできる拡散ポンプです。異物混入に強く、発売開始から長年ご愛顧頂...

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機...

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧...

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化に より省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

ULVACターボ分子ポンプUTMシリーズは、一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。

 

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、極...

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、極...

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、極...

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、ス...

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、ス...

GST-07L-Bは、ULVACがこれまで培ってきた超高真空分野での豊富な技術力と実績により高機能・高信頼性を実現したスパッタイオンポ...