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製品情報

メカニカルブースターポンプ

メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。

メカニカルブースターポンプ用架台ユニット YMVシリーズ

メカニカルブースターポンプ排気装置真空ポンプメカニカルブースターポンプ排気ユニット

YMVシリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4種類の架台ユニット...

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メカニカルブースターポンプ PRCシリーズ Ver.A

真空ポンプメカニカルブースターポンプ

PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースターポンプです。...

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メカニカルブースターポンプ PMBシリーズ Ver. D

真空ポンプメカニカルブースターポンプ

PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースターポンプです。オプションで表面処理や大気圧駆動型が選択でき、空冷での運転も可能とな...

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メカニカルブースターポンプ PMBシリーズ Ver.C

真空ポンプメカニカルブースターポンプ

大型のPMBシリーズは、ベルト駆動型による低速回転のメカニカルブースターポンプです。堅牢な揺動ピストン型油回転真空ポンプと組み合わせて...

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ルーツ型真空ポンプ　MBS-052

真空ポンプメカニカルブースターポンプ

【50 m3/h、到達圧力 4.0×10-2Pa】
ルーツ型／実効...

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