油拡散ポンプ、補助ポンプ、配管をコンパクト組み合わせた高真空排気装置です。
【水冷式油拡散ポンプ（400L/sec）＋油回転真空ポンプ】架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電...
【空冷式油拡散ポンプ（200L/sec）＋油回転真空ポンプ】架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電...
【空冷式油拡散ポンプ（200L/sec）＋油回転真空ポンプ】パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...
【空冷式油拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転真空ポンプ。オートマチックバルブ採用。】 パイプフレームにメイ...
【空冷式油拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転真空ポンプ】 パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...
