排気ユニット
アルバックの主ポンプ(ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプ、拡散ポンプ等)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易型の高真空排気ユニットです。大気圧から高真空まで本製品1台で排気できます。
ターボ分子ポンプ排気ユニット Desktop YTP
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。 デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。
メカニカルブースターポンプ用架台ユニット YMVシリーズ
YMVシリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4種類の架台ユニット...