Depoviewは、アルバック製水晶発振式成膜コントローラ(CRTM)の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集するソフ...

FABISEQは、プロセス装置のデータを収集、グラフ表示するソフトウェアです。装置データの見える化により、不良品が発生した原因・経緯の...

COVOTは長年の経験と技術をもとに設計された、剛性が高く位置精度に優れた高真空対応の搬送ロボットです。

COVOT-LCはZ軸を持たない、シンプルでリーズナブルな真空搬送ロボットです。

COVOT-6は独立した4本のアームを備え、高スループットを実現した真空搬送ロボットです。

NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。

ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。

DCパルス電源は、反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。
この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲッ...

DC-10及びDC-20は、10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培...

DC-2およびDC-4は、2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質...

スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。...

MFU-20KはULVAC製DC電源に追加することにより、直流出力をバイポーラパルス出力に変換するユニットです。低コストでの歩留まり・...

A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニ...

RFS-Nシリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載...

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。フラットトップ構造および15mmハー...

EGP-1Gは、構造のシンプルな180ºビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。 また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。 ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の...

EB電源HPSシリーズは、最大5/10/16kW の電力を供給し、より安定した蒸着をめざした電子ビーム蒸着用電源です。ソリッドステート...