熱処理・加熱装置
長年培った赤外線加熱技術を用いた実験炉、急速加熱冷却装置、2インチ~300mm基板対応アニール装置を提供しています。
超高温ランプアニール装置 HT-RTA59HD
SiCなど高価な試料やその他高融点材料の小片試料をスポット加熱による高い反射効率で、超高温領域1800℃まで昇温可能な卓上型超高温ランプアニ...
卓上型ランプ加熱装置 MILA-5050
本装置は、試料寸法50mm 角までの熱処理を可能とした卓上型ランプ加熱装置です。 試料寸法20mm 角までの加熱装置として、卓上型ランプ加熱装置MILA-5000 シリーズを発売以来、多くのお客様にご愛用いただいておりますが、「もう少し大きい試料の熱処理がしたい」というお客様のご要望にお応えし、加熱炉、チャンバ、温度制御器を一体にしたコンパクトなボディはそのままに、50mm 角までの熱処理を可能といたしました。