生産現場から寄せられる生の声を反映した各種成膜プロセスに対応しています。
バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動...
【水冷式油拡散ポンプ（1100L/sec）＋油回転真空ポンプ】架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ...
ターボ分子ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開...
水冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・...
空冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...
空冷拡散ポンプ（200L/sec）＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。パイプフレームにメイ...
空冷拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転ポンプ採用（半自動式）。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。パイプフレ...
空冷拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。パイプフレームにメイン...
