軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5×10-10Paの測定分解能を実現した超高真空計です。
AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。...
