優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく、精度良く測定出来ます。
CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンス...
