ガス分析計 （プロセスガスモニタ）
アルバックの残留ガス分析（プロセスガスモニタ）は、シンプルさと使いやすさを実現しました。各種真空装置用（真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空炉）や研究開発用など用途別にラインアップしています。
ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGM2 シリーズ
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計（Ethernet通信対応）です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。
ガス分析計用ソフトウェア Qulee QCS
“ Qulee QCS ” は、アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。 当ソフトウェアは、ULVAC製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。
