PHIX-toolは簡単操作で高性能XPSを実現する自動マイクロXPS装置です。

CRTM-9200はCRTM-9100Gの後継機として、機能・デザイン共に継承で互換性は基本的に維持しつつ、ディスプレイの視野角もこう...

CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。ハーフラックサイ...

CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリス...

CRTS-12NSは水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式のマルチセンサです。5MHzクリスタルを12...

軽量・コンパクトなポータブルタイプ

φ150mm対応の手動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。
>> エリプソメータのラインアップはこちらから

マッピング測定が可能な自動ステージタイプ

各種装置への組み込みが可能なビルトインタイプ

P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーで...

P-170は実績豊富なP-17をベースに自動搬送機構を追加したモデルです。　搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン...

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差（膜厚）、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社...

HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。
漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパ...

自動ヘリウムリークテストシステム用に専用設計されたリークディテクタです。

リークテストのデモルームESSのご案内

『弊社校正リークの航空輸送時の問題に関するご報告』

高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガス...

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にし...

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計（Ethernet通信対応）です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズのハイエンドモデル機"Qulee HGM"で...

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計Qulee シリーズ（Ethernet 通信対応）のハイ...

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM2-202/RGM2-302は、Quleeシリーズのエッチング、CVD等の反応性プロ...