高真空排気装置DEPOX VTS-350M/X
ターボ分子ポンプ（345L/sec）＋スクロールポンプ。到達圧力10-5Pa台クラス。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。ＤＥＰＯＸシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
特長
- キャスター付で、移動が容易なドライタイプの排気装置です。
- アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
- メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行うことが可能です。
- 三方向バルブを使用するなど、構成部品が少ないので、メンテナンスが容易です。
- 真空計等のオプションを同一架台内に収納可能です。
- RoHS対応
仕様
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型式
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VTS-350M/X |
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到達圧力
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10-４Pa台 10-５Pa（液体窒素使用時） |
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メインポンプ
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ターボ分子ポンプ 345 L/sec |
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補助ポンプ
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スクロールポンプ 250 L/min |
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メインバルブ
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100A バタフライバルブ |
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補助バルブ
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三方向バルブ |
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吸気口
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VG-100 |
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質量
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135kg |
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最大寸法 （W幅×D奥行き×H高さ）
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730mm(W)×584mm(D)×804mm(H) |
※ 電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・吸気フランジ・オイルミストトラップはオプションです。
ユーティリティー
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型式
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VTS-350M/X |
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所要電気量
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単相 100V 0.9kVA |
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アース端子
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Ｄ種 （接地抵抗値／100MΩ以下） |
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取り合い
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ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4圧着端子付） 4m |
排気系統図
