アルバックとOxford Instruments社のコラボレーションにより、Oxford社プラズマテクノロジー部門の製品である原子レベルでの成膜をするALD装置と、エッチングが出来るALE装置をアルバックより国内のお客様へ販売を開始いたしました。
このOxford社の有するプロセス技術とノウハウと、アルバックの国内のお客様サポート体制と組み合わせることにより包括的なソリューションを提供できることになりました。
日本のお客様に実績のあるAtomic Scale Processing Solutionを提供して参ります。
