RF電源 セレクションガイド
ULVAC の RF 電源は、出力周波数に13.56MHzと27.12MHzの2種類をそろえています。
小型・軽量化を実現し実験装置用500Wから生産装置用20Kwまで幅広い容量帯の電源をご用意しています。
お客様のご用途・ご予算にあった RF電源 をお選びください。
| 主な用途 | 出力周波数 | 容量帯 | タイプ | 規格 | 冷却方式 | 入力電圧 | 型式 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 電源本体 | マッチング ボックス |
|||||||
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PE-CVD
|
13.56MHz | 500W | – | – | 強制空冷 | 単相 200V 系統 |
RFS-1305L | MBX-1305L |
| 省エネ・高速マッチング型 | CE | RFS-1305N | MBX-1305N | |||||
| 1kW | – | – | 水冷 | 単相 200V 系統 |
RFS-1310L | MBX-1310L | ||
| 省エネ・高速マッチング型 | CE | 強制空冷 | RFS-1310N | MBX-1310N | ||||
| 3kW | – | – | 水冷 | 3艘 200V 系統 |
RFS-1330L | MBX-1330L | ||
| 5kW | – | – | 水冷+強制空冷 | 3艘 200V系統 | RFS-1350LH | MBX-1350L | ||
| 10kW | – | – | 水冷 | 3艘 400V 系統 |
RFS-13100F | MBX-13100F | ||
| 27.12MHz | 500W | – | – | 強制空冷 | 単相 200V 系統 |
RFS-2710H | MBX-2710H | |
| 1kW | – | – | 水冷+強制空冷 | |||||
| 3kW | – | – | 水冷+強制空冷 | RFS-2730H | MBX-2730H | |||
| 5kW | – | – | 水冷+強制空冷 | 3艘 200V 系統 |
RFS-2750L | MBX-2750L | ||
| 7.5kW | – | – | 水冷+強制空冷 | RFS-2775L | MBX-2775L | |||
| PV向けPE-CVD | 13.56MHz | 15kW | – | – | 水冷 | 3艘 400V 系統 |
RFS-13150F | MBX-13150F |
| 20kW | – | – | 水冷 | 3艘 400V 系統 |
RFS-13200F | MBX-13200F | ||
