真空機器の国内専門商社 真空機器はアルバック販売へ!

ヘリウムリークディテクタ

ヘリウムリークディテクタ セレクションガイド

HELIOT 900シリーズ、HELIOT 710シリーズはあらゆるリークテストに幅広く対応可能です。システム簡略化やコストダウン、システムアップ、従来テストの置き換えなどにも大きく貢献します。
機器の操作性・高性能はもちろんのこと、人・環境・省エネにも考慮したリークディテクタです。
お客様の試験体やテスト量、テスト方法・ご予算にあった HELIOT をお選びください。

HELIOT900シリーズ

特長 最小表示分解能
[Pa・m3/sec]
He ULTRAモード時
補助ポンプ 試験体容積
(※2)
外観 型式
HELIOT
真空法
スニッファー法兼用機(※1)heliot_900_150_150
0.01 x 10-12 油回転ポンプ 30L/min ~5L ポータブル 901W1
135L/min ~50L モバイル 904W2
ドライポンプ 90L/min ~5L ポータブル 901D2
250L/min ~50L モバイル 904D3

(※1) スニッファー法は別売りのスニッファーユニットが必要です。
(※2) 十分に短いテストサイクルを想定した目安です。粗引き時間に余裕があれば、更に大きな容積も検査可能です。

HELIOT900シリーズ スニッファーユニット

最小表示分解能
[Pa・m3/sec]
吸引用ポンプ 吸込み流量
[SLM]
吸込み口形状 ホース長
(m)
型式
*.**E-8 吸引用ポンプなし <0.03 ハンディープローブ 2, 5, 10 AS9
*.**E-7 吸引用ポンプ付き 約3 2, 5, 10 BS9
φ6mmホース継ぎ手 10(※1) BT9

(※1) 付属10mホースから自由に変更可能です。

HELIOT710シリーズ(販売終了製品)

特長 最小表示分解能
[Pa・m3/sec]
補助ポンプ 試験体容積
(※3)
H2
水素検出
分 類
標準型式 真空法/
スニッファー法
兼用機
(※2)型式
HELIOT
真空法
適用機
(※1)gif
0.1 x 10-12 油回転ポンプ 30L/min ~5L  水素検出対応 711W1 712W1
135L/min ~50L  水素検出対応 714W2 712W2
0.1 x 10-10 ドライポンプ 20L/min ~1L 711D1 712D1
0.1 x 10-12 90L/min ~5L  水素検出対応 714D2 712D2
250L/min ~50L  水素検出対応 714D3 712D3

(※1) 別売りのスニッファーユニットをご用意ただく事で、真空法/スニッファー法兼用機としてご使用できます。全てのスニッファーユニットに対応しています。
(※2) スニッファーユニットを最初から付属した場合の型式です。付属スニッファーユニット以外にも、全てのスニッファーユニットに対応しています。
(※3) 十分に短いテストサイクルを想定した目安です。粗引き時間に余裕があれば、更に大きな容積も検査可能です。

HELIOT710シリーズ スニッファーユニット(販売終了製品)

最小表示分解能
[Pa・m3/sec]
分類 吸引用
ポンプ
吸込みプローブ形状 ホース長
(m)
型式
0.1 x 10-8 スニッファーユニット
AS
吸引用
ポンプなし
ストレート
パイプ
2 AS72
5 AS75
10 AS710
0.1 x 10-6 スニッファーユニット
BS
吸引用
ポンプ付
ストレート
パイプ
2 BS72
5 BS75
10 BS710
スニッファーユニット
BF
吸引用
ポンプ付
フレキシブルパイプ 2 BF72
5 BF75
10 BF710
スニッファーユニット
BT
吸引用
ポンプ付
ウレタンチューブφ6 10 BT710

HELIOT ZERO

HELIOT自動検査装置専用機gif1 補助ポンプタイプ 粗引きポンプ 試験体容積 H2検出 型式
なし(※1) なし(※2) システムに依存 なし ZERO

(※1) 油回転真空ポンプ30L/min以上を推奨。
(※2) HELIOT-ZEROに粗引きのポンプ、機能はありません。別途必要です。

メールでお問い合わせはこちら

コンポーネントガイド

コンポーネントガイド

  • Contact us by e-mail
ガラスMEMS製品
Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.