簡易型赤外線ランプ加熱装置 SSAシリーズ
赤外線ゴールドイメージ炉と石英チャンバの簡易型装置。
赤外線ゴールドイメージ炉及び試料ホルダを含んだ石英チャンバから構成される低価格の加熱システムです。
用途
- 化合物半導体のアロイング
- Si、化合物半導体のRTA
- セラミック基板上の積層材の焼成炉
- ガラス・セラミック基板のアニール炉
特長
- 石英チャンバは、ガスフロータイプまたは真空タイプを選択可能（標準は、ガスフロータイプ）
- オプションで、ガスフロータイプと真空タイプを両方兼ねることが可能
仕様
| 型式 | SSA-E45P | SSA-E410P | SSA-P610CP |
|---|---|---|---|
| 温度範囲 | 室温～1400℃（MAX) | 室温～1400℃（MAX) | 室温～1200℃（MAX) |
| 熱処理ゾーン | φ15mm×50mmL | φ15mm×100mmL | φ50mm×100mmL |
| 均熱ゾーン（保持時目安） | φ10mm～40mmL | φ10mm×80mmL | φ40mm×80mmL |
| 測定雰囲気 | ガスフロー中 真空中 大気中 | ||
| アプリケーション | ロータリーポンプ排気セット 冷却水循環装置 |
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