空冷卓上型ランプ加熱装置 MILA-700AR
冷却水を使わない卓上型ランプ加熱装置。
冷却は空冷ファン採用なので壁コンセントさえあれば直ちに加熱が出来ます。
用途
- ウェハ、化合物ウェハの高速加熱
- 光CVD基板加熱
- 熱サイクル試験
- コーティング膜の耐熱評価
- 有機材料、樹脂類の加熱乾燥
特長
- 50℃/sの高速加熱
- 真空中、ガス中、ガスフロー中、大気中と任意の雰囲気選択
- 精密な温度コントロール
- 卓上型でコンパクトな設計
仕様
| 型式 | MILA-700AR |
|---|---|
| 温度範囲 | 室温～700℃ |
| 昇温速度 | 25℃/sec |
| 試料寸法 | 角20mm×厚2mm |
| 測定雰囲気 | 大気中、真空中、ガスフロー中 |
| アプリケーション | 真空排気装置(ロータリーポンプセット) |
