卓上型ランプ加熱装置 MILA-5000シリーズ
小サンプルの研究開発に最適。
高速加熱・高速冷却、クリーン加熱が行えます。
自在な雰囲気下で加熱する事が可能で温度コントローラと雰囲気可変チャンバが一体化した小型で低価格な赤外線ランプ加熱装置です。
加熱操作をUSB接続によりパソコン上で行え手軽にデータ管理出来ます。
用途
- 強誘電体薄膜の結晶アニール
- イオン注入後の拡散アニール、酸化膜生成アニール
- Si、化合物ウェハのシンタリング、アロイング処理
- ガラス基板の灼熱アニール
- 熱サイクル、熱衝撃、熱疲労試験
- 昇温脱離試験、触媒効果試験
特長
- 50℃/sの高速加熱
- 真空中、ガス中、ガスフロー中、大気中と任意の雰囲気選択
- 精密な温度コントロール
- 卓上型でコンパクトな設計
仕様
| 型式 | MILA-5000-P-N（近赤外型） | MILA-5000P-F（遠赤外型） |
|---|---|---|
| 温度範囲 | 室温～1200℃ | 室温～800℃ |
| ランプ | 近赤外ランプ | 遠赤外ランプ |
| 試料寸法 | 角20mm×厚2mm | |
| 測定雰囲気 | 大気中、真空中、ガスフロー中 | |
| アプリケーション | 真空排気装置(ロータリーポンプセット) 冷却水循環ユニット |
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